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台积电副联席 COO 张晓强:暂无为先进制程导入 High NA EUV 必要

文 / 小亚 2025-05-28 14:39:02 来源:亚汇网

张晓强表示,台积电新近公布的1.4nm级逻辑制程A14即使没有导入HighNAEUV图案化设备,提升幅度也相当可观。他提到,台积电的技术团队正继续努力通过获取工艺收放效益充分拓展LowNAEUV可深入的制程水平,只要这一路线仍能取得进展,那就不必在量产中使用昂贵的ASMLHighNAEUV系统。亚汇网注意到,在三大先进制程企业中对HighNAEUV技术最为激进的英特尔对实际生产中应用HighNA也持审慎态度,与台积电A14同等名义制程的广告声明:文内含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考,亚汇网所有文章均包含本声明。

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