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英国南安普敦大学开设全球第二家电子束光刻工厂

文 / 小亚 2025-05-06 12:02:03 来源:亚汇网

根据亚汇网的了解,不同于现有的主流商用技术路线——激光图案化,电子束光刻以高能电子对光刻胶进行曝光,绘制出半导体电路图案。电子束光刻技术具备优秀的分辨率,可不经过掩膜直写,但也存在着效率较低、控制复杂的等弱点,在实际商业生产中通常被用在掩膜制作这一辅助工艺中,不以核心工艺技术出现。出席活动的英国科技部国务大臣PatrickVallance表示:英国拥有一些世界上最令人兴奋的半导体研究成果,南安普敦的新电子束设施将极大地提升我们国家的能力。通过对基础设施和人才两方面的投资,我们为研究人员和创新者提供在英国开发下一代芯片所需的支持。广告声明:文内含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考,亚汇网所有文章均包含本声明。

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